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酸碱类
品名 英文名 分子式 级别
SL UL VL(CMOS) EL
过氧化氢 Hydrogen Peroxide,30% H2O2
硫酸 Sulfuric Acid H2SO4
盐酸 Hydrochloric Acid HCL
硝酸 Nitric Acid,70% HNO3
发烟硝酸 Nitric Acid Fuming HNO3
磷酸 Phosphoric Acid H3PO4
氢氟酸 Hydrofluoric Acid HF
冰乙酸 Acetic Acid,Glacial CH3COOH
氨水 Ammonium Hydroxide NH3·H2O
氟化铵 Ammonium Fluoride,40% NH4F
氢氧化钾溶液 Potassium Hydroxide Liquid KOH
C-400胆碱清洗剂 Choline Hydroxide C5H15NO2
氢氧化钠溶液 Sodium Hydroxide Liquid NaOH
?#32431;?#28082;
品名 英文名 分子式 级别
SL UL VL(CMOS) EL
氟化铵腐蚀液(BOE) Ammonium Fluoride Etchant NH4F·HF
氟化铵腐蚀液(BOES) Ammonium Fluoride Etchant(with Surfactant) NH4F·HF
铝?#32431;?#28082; Aluminum Etchant H3PO4·HNO3·CH3COOH
钼?#32431;?#28082; Mo Etchant H3PO4·HNO3·CH3COOH
钼铝/钼铝钼?#32431;?#28082; MoAl/MoAlMo Etchant H3PO4·HNO3·CH3COOH
硅?#32431;?#28082;(MAE) Silicon Etchant HNO3·HF·CH3COOH
金?#32431;?#28082; Au Etchant KI
银?#32431;?#28082; Ag Etchant H3PO4·HNO3  

钛?#32431;?#28082;

Ti Etchant HF
铬?#32431;?#28082; Cr Etchant HNO3CAN    
酸性剥离液(AP-2X) Nanostrip 2XP H2SO5  
氢氟酸腐蚀液DHF Hydrofluoric Acid(with Surfactant) HF
ITO?#32431;?#28082;(王水) ITO Etchant HNO3·HCI    
ITO?#32431;?#28082;(草酸) ITO Etchant H2C2O4    
ITO?#32431;?#28082;(FeCl3) ITO Etchant FeCl3·HCl
溶剂
品名 英文名 分子式 级别
SL UL VL(CMOS) EL
甲醇 Methanol CH3OH
乙醇 Ethanol C2H5OH
异丙醇 IPA CH3CHOHCH3
丙酮 Acetone (CH3)2CO
醋酸丁酯 n-Butyl Acetate C6H12O2
甲苯 Toluene C6H5CH3
二甲苯 Xylenes C8H10
三氯乙烯 Trichloroethylene C2HCl3
环已烷 Cyclohexane C6H12
N-甲基吡咯烷酮 N-methyl-2-pyrrolidinone CH3N(CH2)3CO
丙二醇单甲醚 PGME PGME
丙二醇单甲醚醋酸酯 PGMEA PGMEA
EL级:优于美国SEME C1标准,控制1μm颗粒,控制十多个金属元素,单项金属元素控制在100PPb。
VL级:介于EL与UL之间,控制0.5μm颗粒,控制三十多个金属元素,单项金属元素控制在10~100PPb。
UL级:等同于美国SEME C7标准,控制0.5、0.3μm颗粒,控制三十多个金属元素,单项金属元素控制在10PPb以下。
SL级:等同于美国SEME C8标准,控制0.3μm颗粒,控制三十多个金属元素,单项金属元素控制在1PPb以下。
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